鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會(huì)形成金屬與Si 的化合物, 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。
任何金屬都不能達(dá)到純。“超純”具有相對(duì)的含義,是指技術(shù)上達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。
由于技術(shù)的發(fā)展,也常使 “超純”的標(biāo)準(zhǔn)升級(jí)?!俺儭钡南鄬?duì)名詞是指“雜質(zhì)”,廣義的雜質(zhì)是指化學(xué)雜質(zhì)(元素)及“物理雜質(zhì)”(晶體缺陷),后者是指位錯(cuò)及空位等,而化學(xué)雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。
但只當(dāng)金屬純度達(dá)到很高的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)(如純度9以上的金屬),物理雜質(zhì)的概念才是有意義的,湖北2N金靶材,因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學(xué)雜質(zhì)的含量作為標(biāo)準(zhǔn),2N金靶材哪家好,即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬(wàn)分之幾表示。
背靶的選擇
對(duì)材質(zhì)的要求:一般選用無(wú)氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右
導(dǎo)電性好:常用無(wú)氧銅,哪家有2N金靶材,無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好;
強(qiáng)度足夠:太薄,2N金靶材報(bào)價(jià),易變形,不易真空密封。
結(jié)構(gòu)要求:空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu);
厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。
銦焊綁定的流程
1.綁定前的靶材和背板表面預(yù)處理
2.將靶材和背板放置在釬焊臺(tái)上,升溫到綁定溫度
3.做靶材和背板金屬化
4.粘接靶材和背板
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