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工業(yè)氣體是指氧、氮、氦、氙、氫、二氧化碳、等。由于這些氣體具有固有的物理和化學(xué)特性,因此在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中占有舉足輕重的地位,推廣應(yīng)用速度非???,幾乎滲透到各行各業(yè)。 工業(yè)氣體用量多的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)有:煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產(chǎn)、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等石油化學(xué)工業(yè)、機(jī)械工業(yè)中的焊接,金屬熱處理、氦扦漏等,浮法玻璃生產(chǎn)等。由于這些傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)在近幾年發(fā)展迅速,工業(yè)氣體的用量也達(dá)到高峰。
工業(yè)氣體用量多的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)有:煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產(chǎn)、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等石油化學(xué)工業(yè)、機(jī)械工業(yè)中的焊接,金屬熱處理、氦扦漏等,浮法玻璃生產(chǎn)等。由于這些傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)在近幾年發(fā)展迅速,工業(yè)氣體的用量也達(dá)到高峰。
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液態(tài)氦氣可以用于制冷,許多超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)都需要使用液態(tài)氦氣進(jìn)行降溫處理。
液態(tài)氦氣就是在極低溫度下氣態(tài)氦氣轉(zhuǎn)化而來的液態(tài)氦,簡(jiǎn)稱液氦。氦在通常情況下為無色、無味的氣體,沸點(diǎn)-268.785℃,它的沸點(diǎn)是已知物質(zhì)中低的(比氫氣還要低)。所以當(dāng)溫度在4.18K時(shí),氣體氦氣的性質(zhì)同一般液體一樣,加以適當(dāng)?shù)膲毫娃D(zhuǎn)化為液態(tài)氦氣了。實(shí)際上液態(tài)氦氣的制作不僅僅需要低溫,要知道氦氣是沒有三相點(diǎn)的物質(zhì),想要液態(tài)氦氣除了低溫之外,還需要一定的壓力。
液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低,當(dāng)溫度降至2.178K時(shí),就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動(dòng)性的液氦,此時(shí)的液態(tài)氦氣被稱為超流體。
液態(tài)氦氣已實(shí)際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中,它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用,高純液氧公司,并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。
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使用高純氧氣時(shí)應(yīng)注意安全,做好防震、防火、防熱、防油等工作。高純氧氣能助燃,應(yīng)放在陰涼處,罐裝液氧公司,嚴(yán)禁接近煙火和物;不可在氧氣表螺旋口上抹油;高純氧氣鋼瓶壓力很高,搬運(yùn)時(shí)避免傾倒、撞擊,以防止。使用前要仔細(xì)觀看氣瓶肩部球面部分的標(biāo)志。特別是注意'下次試壓時(shí)間'。并在使用過程中按照要求定期對(duì)氣瓶作技術(shù)檢驗(yàn)。不得使用超過應(yīng)檢期限的氣瓶。使用時(shí),首先要做外部檢查,檢查重點(diǎn)是瓶閥、按管螺紋、減壓器等。如果發(fā)現(xiàn)有漏氣、滑扣、表針動(dòng)作不靈或'爬高'等,應(yīng)及時(shí)維修,切忌隨便處理。禁止帶壓擰緊閥桿,調(diào)整墊料。檢查漏氣時(shí)應(yīng)用肥皂水,不得使用明火。
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