常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等,這些泵是我國國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中的主力泵種。近年來, 伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展,真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭,同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下,我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。
流量單位時間流過任意截面的氣體量,符號用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。流導(dǎo)表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號記作“U”。標(biāo)準(zhǔn)大氣壓壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號:(Atm)。極限真空真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時煉氣,再經(jīng)12小時抽真空,一個小時每隔10分鐘測量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
水環(huán)泵也有其缺點(diǎn):效率低,一般在30%左右,較好的可達(dá)50%。真空度低,這不僅是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制,更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液,極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液,可達(dá)130Pa??傊捎谒h(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可以抽除、的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面,故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn),盡管它效率低,仍然得到了廣泛的應(yīng)用。
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