數(shù)顯測厚規(guī)(千分款)
測量勻膠厚度量程:0~10mm
精度:0.001mm
公差:≤±0.005mm
頂旭(蘇州)微控技術有限公司是一家專注于微流控領域的高科技企業(yè),我們致力于為客戶提供微流控芯片定制、表面修飾改性、微流控芯片加工設備、以及微流控儀器等全mian的微流控解決方案。不斷追求卓yue,通過專ye、創(chuàng)新和合作,為客戶創(chuàng)造更大的價值,共同kai創(chuàng)微流控領域的美好未來。
SU8模具制備流程
1.后烘
將曝光后的硅片放置在熱板上,進行后曝光烘烤,以確保光刻膠的交聯(lián)反應完成。(舉例說明:目標膠厚度50um,設置溫度65℃,烘烤7min,然后溫度95℃,勻膠機報價,烘烤3min)
2.顯影
將硅片放入顯影劑中,使未曝光部分的光刻膠溶解,形成模具的圖案。(顯影時間根據(jù)光刻膠厚度和顯影劑濃度進行調整,此處顯影時間20min)
3.清洗
將顯影后的硅片用異丙chun溶劑進行清洗,去除多余的光刻膠。
4.檢查
使用顯微鏡檢查制備的SU-8模具,測試觀察制備的微結構尺寸,勻膠機性能,確認圖案的清晰度和質量。
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耗材
光刻掩膜板
菲林掩膜板適用于制備線條寬度較大的結構,通常在20微米以上。這種掩膜板制備簡單,適合制備相對寬大和較粗糙的圖案。然而,由于其分辨率有限,無法滿足制備細致微結構的需求。因此,對于需要制備線條寬度大于20微米的簡單結構,菲林掩膜板是一個合適的選擇。
玻璃掩膜板適用于制備線條寬度小于20微米的精細結構,以及需要多層對準的情況。玻璃掩膜板的制備工藝更加復雜,但由于其高分辨率,勻膠機企業(yè),能夠實現(xiàn)更細致、更精que的微結構。特別是在需要制備復雜多層結構且對準精度要求較高的情況下,玻璃掩膜板具有明顯優(yōu)勢。
在選擇掩膜板類型時,勻膠機,應根據(jù)所需制備的圖案特性、線條寬度以及對制備精度和復雜度的要求進行權衡。菲林掩膜板適用于相對簡單的結構,而玻璃掩膜板則更適合制備更細致和復雜的微結構。綜合考慮制備目標和技術要求,選擇適當?shù)难谀ぐ孱愋蛯⒂兄诖_保制備過程的成功和效率。
頂旭(蘇州)微控技術有限公司是一家專注于微流控領域的高科技企業(yè),堅持以客戶為中心,不斷挑戰(zhàn)自我,不斷追求zhuo越,通過專ye、創(chuàng)新和合作,為客戶創(chuàng)造更大的價值,共同kai創(chuàng)微流控領域的美好未來
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