鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,香檳金靶材廠家,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會(huì)形成金屬與Si 的化合物, 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色,云南香檳金靶材,使器件的性能大幅度下降。
綁定的適用范圍
技術(shù)上來說表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術(shù)綁定銅背靶來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材:
ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;
錫、銦等軟金屬靶;
靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端:
1.熔點(diǎn)低的靶材,像銦、硒等,香檳金靶材哪家好,金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形;
2.貴金屬靶材,一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料,建議墊一片銅片。
電導(dǎo)率σi和電子導(dǎo)電的電導(dǎo)率σe之比σi/σe≥0.01。
具有至少一層其至少部分所述導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電層的導(dǎo)電輥包括整個(gè)導(dǎo)電輥都由離子導(dǎo)電性聚合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成的導(dǎo)電輥以及由不同組成的多層構(gòu)成的導(dǎo)電輥,而由不同組成的多層構(gòu)成的導(dǎo)電輥中的至少一層由至少部分導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成,其他層則由離子導(dǎo)電性聚合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電層以外的橡膠等構(gòu)成。
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