耗材
硅片
硅片沒(méi)有特殊要求,單面拋光即可。制備SU8模具時(shí)在硅片拋光旋涂光刻膠。
光刻掩膜板
光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡(jiǎn)稱掩膜版,是制備SU8模具光刻工藝所使用的圖形母版,SU8模具加工設(shè)備設(shè)計(jì),由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成微結(jié)構(gòu)掩膜圖形,SU8模具加工設(shè)備性能,通過(guò)曝光過(guò)程將微結(jié)構(gòu)圖形信息轉(zhuǎn)移到SU8光刻膠涂層上,實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的jing確復(fù)zhi。光刻掩膜版,一般可分為菲林掩膜版和玻璃掩膜版兩種。
數(shù)顯測(cè)厚規(guī)(千分款)
測(cè)量勻膠厚度量程:0~10mm
精度:0.001mm
公差:≤±0.005mm
頂旭(蘇州)微控技術(shù)有限公司是一家專注于微流控領(lǐng)域的高科技企業(yè),我們致力于為客戶提供微流控芯片定制、表面修飾改性、微流控芯片加工設(shè)備、以及微流控儀器等全mian的微流控解決方案。不斷追求卓yue,通過(guò)專ye、創(chuàng)新和合作,為客戶創(chuàng)造更大的價(jià)值,共同kai創(chuàng)微流控領(lǐng)域的美好未來(lái)。
SU8模具制備流程
1.備片
從化學(xué)品存放區(qū)取出清潔的硅片(確保硅片表面無(wú)塵)。
2.勻膠
1)打開(kāi)勻膠機(jī),將硅片放置在勻膠機(jī)托盤上,SU8模具加工設(shè)備企業(yè),打開(kāi)真空開(kāi)關(guān),確保硅片固定在托盤上不動(dòng);
2)將SU8光刻膠滴在硅片中間,根據(jù)光刻膠的厚度和制備要求設(shè)置勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速和時(shí)間。(舉例說(shuō)明:目標(biāo)膠厚度50um,光刻膠型號(hào):SU8-2075,1段500轉(zhuǎn)8s,2段1800轉(zhuǎn)30s)
3.前烘
1)將涂布好SU8光刻膠的硅片放置在熱板上,進(jìn)行預(yù)熱烘烤,去除光刻膠中的揮發(fā)性有機(jī)溶ji,時(shí)間和溫度根據(jù)光刻膠厚度進(jìn)行調(diào)整。(舉例說(shuō)明:目標(biāo)膠厚度50um ,設(shè)置溫度65℃,烘烤15min,然后溫度95度,烘烤15分鐘)
4.曝光
1)將預(yù)熱后的硅片放置在桌面光刻機(jī)托盤上。
2)使用相應(yīng)的掩模(掩膜)放置在硅片上進(jìn)行曝光,曝光時(shí)間和強(qiáng)度根據(jù)SU-8光刻膠的類型和厚度進(jìn)行調(diào)整。(舉例說(shuō)明:目標(biāo)膠厚度50um,設(shè)置曝光能量25mw/cm2,廣東SU8模具加工設(shè)備,時(shí)間12s)
微流控芯片加工設(shè)備: 提供豐富多樣的微流控芯片加工設(shè)備,涵蓋SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工??梢詭椭蛻粼谧约旱膶?shí)驗(yàn)室內(nèi)進(jìn)行微流控芯片的快速制作,從而提高實(shí)驗(yàn)效率和靈活性。
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