導(dǎo)電橡膠能夠提供較高的打印密度。但導(dǎo)電橡膠的導(dǎo)電率是如此之高,以致其不能對(duì)色粉充電至較高程度。當(dāng)僅僅將由金屬氧化物組成的無(wú)機(jī)填料(D)作為填料與橡膠組分(A)混合時(shí),導(dǎo)電橡膠能夠得到降低色粉的物理粘附力的效果,但是不能將色粉充電至較高程度,本溪925銀銅,因此不能提供足夠的打印密度。如上所述,在獨(dú)立地將填料(B)至(D)與橡膠組分(A)混和時(shí),必須大量使用填料。
而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝,所需要的靶材純度將要求達(dá)到5甚至6N以上。銅與鋁相比較,哪家有925銀銅,銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率,能夠滿(mǎn)足!導(dǎo)體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問(wèn)題:銅與有機(jī)介質(zhì)材料的附著強(qiáng)度低.并且容易發(fā)生反應(yīng),導(dǎo)致在使用過(guò)程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。
為了解決以上這些問(wèn)題,需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點(diǎn)、高電阻率的金屬及其化合物,因此要求阻擋層厚度小于50nm,925銀銅生產(chǎn)廠家,與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的.需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等.但是Ta、W都是難熔金屬.制作相對(duì)困難,如今正在研究鉬、鉻等的臺(tái)金作為替代材料。
熱壓法:ITO靶材的熱壓制作過(guò)程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當(dāng)粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,同時(shí)以1000℃~1600℃進(jìn)行燒結(jié)。熱壓工藝制作過(guò)程所需的成型壓力較小,925銀銅哪家好,燒結(jié)溫度較低,燒結(jié)時(shí)間較短。但熱壓法生產(chǎn)的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,從而影響了生產(chǎn)ITO薄膜的均勻性,且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。
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