電子/線路板制造是一種高度精密化的工業(yè),一些細微的環(huán)境或操作變動都有可能影響其制造成品的質(zhì)量,因此制造過程均要求在嚴格控制下的潔凈室中操作。潔凈室是一個采用層層過濾以去除空氣中微粒存在,并控制室內(nèi)溫度與濕度于恒定狀態(tài)的密閉空間。電子/線路板芯片制備到器件封裝,光電顯示凈化工程裝修設(shè)計,對生產(chǎn)環(huán)境空氣品質(zhì)都有較高的要求,空氣品質(zhì)關(guān)系著成品率和產(chǎn)品品質(zhì)。
和其他產(chǎn)業(yè)不同,集成電路產(chǎn)業(yè)鏈幾乎所有環(huán)節(jié)都需要在潔凈室內(nèi)完成,從單晶硅片制造,到IC制造的幾乎所有環(huán)節(jié),到IC封裝都需要在潔凈室中完成,且對于潔凈度的要求非常高。如,14納米工藝中7納米的微粒就會影響制造過程。集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高,對于潔凈室工程的技術(shù)提出越來越高的要求。潔凈室工程是集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán),直接決定了終產(chǎn)品的成敗。
集成電路產(chǎn)品比如存儲芯片的成本價格、競爭實力和工藝技術(shù)息息相關(guān),潔凈室工程作為項目建設(shè)、投產(chǎn)過程中的的環(huán)節(jié),屬于生產(chǎn)輔助性工程,直接和投資相關(guān),不受限于技術(shù)瓶頸,即使我國在制造工藝上尚存在差距,但是潔凈室工程行業(yè)不受影響,獲益于我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害氣體、細菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、濕度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流流向、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計的空間。潔凈室的主要原理即利用流體力學的相關(guān)性質(zhì)來控制室內(nèi)污染源。
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