耗材
光刻掩膜板
菲林掩膜板適用于制備線條寬度較大的結構,通常在20微米以上。這種掩膜板制備簡單,適合制備相對寬大和較粗糙的圖案。然而,SU8模具加工設備作用,由于其分辨率有限,無法滿足制備細致微結構的需求。因此,對于需要制備線條寬度大于20微米的簡單結構,菲林掩膜板是一個合適的選擇。
玻璃掩膜板適用于制備線條寬度小于20微米的精細結構,以及需要多層對準的情況。玻璃掩膜板的制備工藝更加復雜,但由于其高分辨率,能夠實現(xiàn)更細致、更精que的微結構。特別是在需要制備復雜多層結構且對準精度要求較高的情況下,玻璃掩膜板具有明顯優(yōu)勢。
在選擇掩膜板類型時,應根據(jù)所需制備的圖案特性、線條寬度以及對制備精度和復雜度的要求進行權衡。菲林掩膜板適用于相對簡單的結構,而玻璃掩膜板則更適合制備更細致和復雜的微結構。綜合考慮制備目標和技術要求,選擇適當?shù)难谀ぐ孱愋蛯⒂兄诖_保制備過程的成功和效率。
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勻膠機
調速范圍和時間:I檔:50~10000轉/分,時間0~999s
II檔:50~10000轉/分,時間0~999s適用:直徑5~100mm硅片及其他材料勻膠轉速穩(wěn)定性:±1%膠的均勻性:±2%電極功率:40W,SU8模具加工設備設計,單相110~240V真空泵抽氣速率:>60L/min
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日常維護
1、定期清理平行曝光機的載臺,防止它們因積塵或灰塵而影響加工。
2、保持曝光機的表面清潔,防止灰塵和雜質進入設備內部。
微流控芯片加工設備: 提供豐富多樣的微流控芯片加工設備,涵蓋SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以幫助客戶在自己的實驗室內進行微流控芯片的快速制作,從而提高實驗效率和靈活性。
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