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還有一種新型的電子場(chǎng)發(fā)射式電子qiang，由1個(gè)陰極和2個(gè)陽(yáng)極構(gòu)成，陽(yáng)極上施加一稍低（相對(duì)第2陽(yáng)極）的吸附電壓，用以將陰極上面的自由電子吸引出來(lái)，而第2陽(yáng)極上面的極高電壓，將自由電子加速到很高的速度發(fā)射出電子束流。這需要超高電壓和超高真空為工作條件，它工作時(shí)要求真空度達(dá)到10-7Pa，熱損耗，使用壽命可達(dá)2000 h；電子束斑的光點(diǎn)更為尖細(xì)，直徑可達(dá)到10nm以下，較鎢絲陰極（大于10nm）縮小了3個(gè)數(shù)量級(jí)；由于發(fā)光，它發(fā)出光斑的亮度能達(dá)到10 A/cm·s，較鎢絲陰極（106 A/cm·s ）也提高了3個(gè)數(shù)量級(jí)。場(chǎng)發(fā)射式電子因技術(shù)、造價(jià)昂貴，只應(yīng)用于高分辨電鏡當(dāng)中。

進(jìn)行材料斷口的分析。掃描電子顯微鏡的另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大，圖象富有立體感。掃描電子顯微鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大，故所得掃描電子象富有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個(gè)特點(diǎn)對(duì)使用者很有價(jià)值。掃描電子顯微鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，植物鈣離子定位檢測(cè)技術(shù)服務(wù)，在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中，有的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強(qiáng)有力的手段。

可進(jìn)行綜合分析。裝上波長(zhǎng)色散X射線譜儀（WDX）或能量色散X射線譜儀（EDX），使具有電子探針的功能，也能檢測(cè)樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式，顯示出了掃描電鏡的多功能。另外，還可以在觀察形貌圖象的同時(shí)，對(duì)樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析；裝上半導(dǎo)體試樣座附件，通過(guò)電動(dòng)勢(shì)象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)自動(dòng)和半自動(dòng)控制，因而大大提高了定量分析的速度。

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