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由于電子束射入樣品時會發(fā)生布拉格散射,樣品的衍射對比度信息會由電子束攜帶出來。例如晶體樣品會將電子束散射至后焦平面上離散的點上。通過將光圈放置在后焦平面上,可以選擇合適的反射電子束以觀察到需要的布拉格散射的圖像。通常僅有非常少的樣品造成的電子衍射會投影在成像設備上。如果選擇的反射電子束不包括位于透鏡焦點的未散射電子束,那么在圖像上沒有樣品散射電子束的位置上,也就是沒有樣品的區(qū)域?qū)前档?。這樣的圖像被稱為暗場圖像。

TEM常見的操作模式是亮場成像模式。在這一模式中,經(jīng)典的對比度信息根據(jù)樣品對電子束的吸收所獲得。樣品中較厚的區(qū)域或者含有原子數(shù)較多的區(qū)域?qū)﹄娮游蛰^多,于是在圖像上顯得比較暗,而對電子吸收較小的區(qū)域看起來就比較亮,這也是亮場這一術(shù)語的來歷。圖像可以認為是樣品沿光軸方向上的二維投影,而且可以使用比爾定律來近似。對亮場模式的更復雜的分析需要考慮到電子波穿過樣品時的相位信息。

電子顯微鏡的工作是進入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,掃描電鏡能譜技術(shù)服務,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應用泛,分辨本領的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。

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