電子顯微鏡的工作是進入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,掃描電鏡能譜技術(shù)服務,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。
掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點形成并在鏡體外顯像管上顯示。
二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應用泛,分辨本領的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。
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