潔凈廠房竣工驗(yàn)收時，應(yīng)認(rèn)真檢查竣工驗(yàn)收的資料，多晶硅凈化工程裝修設(shè)計，一般包括下列文件及記錄：

（1）圖紙會審記錄、設(shè)計變更通知書和竣工圖；

（2）各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進(jìn)場檢驗(yàn)報告；

（3）各分部工程的單機(jī)設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗(yàn)記錄；

（4）各分部單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄；

（5）各分部工程、系統(tǒng)無負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄；

（6）各類管線試驗(yàn)、檢查記錄；

（7）各分部工程的安全設(shè)施的檢驗(yàn)和調(diào)試記錄；

（8）各分部工程的質(zhì)量驗(yàn)收記錄。

    潔凈室增壓是必須的，它的作用是確保潔凈室遠(yuǎn)離其臨近區(qū)域的污染，控制有害污染物的流向，防止不同區(qū)域間的交叉污染，并幫助保持所要求的溫度和濕度水平。

    潔凈室與相關(guān)走廊、設(shè)施內(nèi)的其他區(qū)域的壓差應(yīng)維持在0.25到0.005英寸水柱（in.w.g.）之間。一般制藥企業(yè)所要求的壓差值比這更高，在不同區(qū)域之間采用層疊壓差來避免交叉污染。在不同的區(qū)域間安裝一系列的層疊式氣閘和允許空氣快速擴(kuò)散的正壓門，從而產(chǎn)生壓差。好的微電子潔凈室設(shè)計中，通常在潔凈室的入口安裝一個半密封的氣閘來使壓差保持在0.02到0.005in.w.g.之間。更衣間和穿衣間用氣閘分離。入口入的機(jī)械風(fēng)淋相對于它的必要性而言，更是設(shè)施文化和潔凈室的原則問題。

在凈化工程安裝施工過程中對凈化工程安裝施工進(jìn)度目標(biāo)進(jìn)行動態(tài)跟蹤和控制

1、按照進(jìn)度控制的要求，收集凈化工程安裝施工進(jìn)度實(shí)際值。

2、定期對凈化工程安裝施工進(jìn)度的計劃值和實(shí)際值進(jìn)行比較。根據(jù)本項(xiàng)目特點(diǎn)，進(jìn)度的控制周期可定為一旬或半月。比較凈化工程安裝施工進(jìn)度的計劃值和實(shí)際值時應(yīng)注意，其對應(yīng)的工程內(nèi)容應(yīng)一致，如以里程碑事件的進(jìn)度目標(biāo)值或再細(xì)化的進(jìn)度目標(biāo)值作為進(jìn)度的計劃值，則進(jìn)度的實(shí)際值是相對于里程碑事件或再細(xì)化的分項(xiàng)工作的實(shí)際進(jìn)度。

進(jìn)度的計劃值和實(shí)際值的比較應(yīng)是定量的數(shù)據(jù)比較，比較的成果是進(jìn)度跟蹤和控制報告如編制進(jìn)度控制的旬、月、季、半年和年度報告等。

3、通過凈化工程安裝施工進(jìn)度計劃值和實(shí)際值的比較，如發(fā)現(xiàn)進(jìn)度的偏差，則必須采用相應(yīng)的糾偏措施進(jìn)行糾偏.

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