凈化車間潔凈度檢測(cè)時(shí),使用光散射粒子計(jì)數(shù)器的取樣量:關(guān)于塵土粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)時(shí)的空氣取樣量,在GBJ73-84中規(guī)則:關(guān)于100級(jí)的凈化車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于1L,關(guān)于1000~10000級(jí)的凈化車間,層流手術(shù)室設(shè)計(jì)施工多少錢,每次取樣量應(yīng)大于或等于0.3L,關(guān)于10000級(jí)的凈化車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于0.1L。關(guān)于100級(jí)凈化車間,宜選用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試。
我國(guó)的潔凈室工程開始于20世紀(jì)60年代初,在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級(jí)單向流潔凈室;與此同時(shí),懷化層流手術(shù)室,潔凈廠房用設(shè)備和資料,如過濾器,潔凈工作臺(tái)、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產(chǎn),層流手術(shù)室設(shè)計(jì)施工公司,雖然制作質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與世界水平尚有差距,層流手術(shù)室設(shè)計(jì)安裝施工,但已能滿足國(guó)內(nèi)部分需求,到20世紀(jì)70年代末我國(guó)潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。
為什么要做無塵車間?
無塵車間即無塵室,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
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