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潽拓光電:分子泵故障處理
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  • 分子泵故障處理指南分子泵作為高精密真空設(shè)備的部件,其穩(wěn)定運(yùn)行直接影響真空系統(tǒng)的性能。常見故障處理需遵循以下步驟: 一、啟動故障處理1. 檢查電源:確認(rèn)380V三相電源相位正確,變頻器無過載報(bào)警2. 測試控制器:用萬用表測量控制板輸出電壓(正常范圍24-30V DC)3. 排查機(jī)械卡阻:手動盤車檢測軸承阻力(標(biāo)準(zhǔn)值<0.5N·m) 二、異常噪音處理1. 軸承故障判斷:使用定位異響部位,800Hz以上高頻噪音提示軸承損壞2. 異物排查:拆解進(jìn)氣口濾網(wǎng),使用內(nèi)窺鏡檢查渦輪級間(建議每2000小時(shí)清潔)### 三、真空度下降處理1. 密封檢測: - 氦質(zhì)譜檢漏儀檢測法蘭(漏率<1×10^-9 Pa·m3/s) - 更換失效的氟橡膠密封圈(壓縮量保持30%)2. 油質(zhì)監(jiān)測:取樣檢測擴(kuò)散泵油粘度(新油40mm2/s,報(bào)廢值<28mm2/s) 四、溫度異常處理1. 散熱系統(tǒng)檢查: - 水冷系統(tǒng)流量≥5L/min,溫差<3℃ - 風(fēng)冷設(shè)備清潔翅片(壓降<50Pa)2. 潤滑系統(tǒng)維護(hù):補(bǔ)充合成酯類潤滑油(ISO VG22),單次注油量不超過50ml### 預(yù)防性維護(hù)要點(diǎn)1. 建立振動監(jiān)測檔案(速度值<4.5mm/s RMS)2. 每運(yùn)行4000小時(shí)更換分子篩吸附器3. 使用紅外熱像儀定期掃描電機(jī)溫升(ΔT<15K)注意事項(xiàng):處理前必須執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)泄壓流程,待泵體溫度降至40℃以下方可操作。涉及轉(zhuǎn)子動平衡(G2.5級)或磁軸承(間隙0.1-0.3mm)調(diào)整時(shí),建議返廠維護(hù)。通過系統(tǒng)化故障診斷和預(yù)防性維護(hù),可將分子泵MTBF提升至30,000小時(shí)以上,顯著降低非計(jì)劃停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。

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