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潽拓光電:什么是分子泵
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  • 分子泵是一種用于實(shí)現(xiàn)和維持高真空及超高真空環(huán)境的設(shè)備。以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹:分子泵的中文名即為“利用高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子”傳輸氣體分子的一種動(dòng)量型真空泵,通過(guò)把動(dòng)量傳遞給氣體分子來(lái)使其獲得定向速度并被壓縮、驅(qū)向排氣口后被前級(jí)抽走。其中牽引式的工作原理為簡(jiǎn)式的轉(zhuǎn)子上或定子圓柱面開(kāi)有溝槽(如矩形槽等),可以充分利用外圓較高的線速度對(duì)氣體進(jìn)行更好的傳遞;復(fù)合型的還結(jié)合了渦輪式結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)來(lái)提。工作過(guò)程可概括為以下幾個(gè)步驟:分子內(nèi)部的高速旋轉(zhuǎn)的葉片(或稱轉(zhuǎn)子)以每分鐘數(shù)萬(wàn)的速度運(yùn)轉(zhuǎn)形成間隙→在碰撞到這些葉片時(shí),原本雜亂無(wú)章的氣體分子被賦予動(dòng)能并獲得沿特定方向的加速→經(jīng)過(guò)多級(jí)結(jié)構(gòu)的多次碰撞后逐步排出至系統(tǒng)外部,每一級(jí)的壓力均有所降低直至達(dá)到所需的高/超高度真空狀態(tài)為止。它能在較寬的壓力范圍內(nèi)((10^-6\~大氣)有效工作且無(wú)污染產(chǎn)生。。應(yīng)用領(lǐng)域憑借上述特性優(yōu)勢(shì),它在多個(gè)高科技領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用:包括半導(dǎo)體制造中的除雜保質(zhì)、光學(xué)鍍膜和高精度元件生產(chǎn)所需的潔凈環(huán)境以及材料科學(xué)中各類薄膜納米材料的制備研究等等;此外也常見(jiàn)于食品加工去味提純、藥品制造和研究實(shí)驗(yàn)室等多種場(chǎng)合之中以確保相關(guān)操作的質(zhì)量和效率符合要求并推動(dòng)科技進(jìn)步發(fā)展。

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