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Edwards真空分子泵的維修注意事項(xiàng)是?大家可以說一下嗎?
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  • Edwards真空分子泵每次停機(jī)后,必須清洗每個(gè)分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

  • 當(dāng)Edwards真空分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時(shí),請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • Edwards真空分子泵不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵

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