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維修Pfeiffer渦輪分子的方法有哪些?教期待大神解答
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  • Pfeiffer渦輪分子泵Hipace系列,采用復(fù)合軸承設(shè)計(jì),內(nèi)部主要由陶瓷球軸承,轉(zhuǎn)子軸,安全軸承和磁性軸承組成,正常運(yùn)行3-4年建議做一次標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)

  • Pfeiffer渦輪分子真空度正常,可以達(dá)到全速,但是噪音大分子泵運(yùn)行超過(guò)3年,可能內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損;如果放任不管,后續(xù)會(huì)磨損轉(zhuǎn)子,對(duì)泵體內(nèi)部造成更嚴(yán)重的損傷。

  • 異物進(jìn)入Pfeiffer渦輪分子:工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進(jìn)入分子泵時(shí),會(huì)對(duì)高速旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成巨大損害,建議立即停機(jī)送修檢測(cè)。

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