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分子真空泵應(yīng)該怎么正確使用和維護(hù)呢?
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  • 分子真空泵啟動(dòng)1、啟動(dòng)條件:連接無(wú)誤、無(wú)漏、冷卻、潤(rùn)滑、真空度2、啟動(dòng)時(shí)間同時(shí)啟動(dòng)—小系統(tǒng),防前級(jí)泵油上返延遲啟動(dòng)—系統(tǒng)容積過(guò)大,先啟動(dòng)前級(jí)泵,至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa,啟動(dòng)分子泵。

  • 分子真空泵長(zhǎng)時(shí)間啟動(dòng)仍達(dá)不到額定轉(zhuǎn)速或停轉(zhuǎn)原因:1、系統(tǒng)有漏2、前級(jí)壓強(qiáng)過(guò)高3、轉(zhuǎn)向有誤4、潤(rùn)滑油失效5、軸承損壞

  • 分子真空泵真空度低1、前級(jí)漏氣2、前級(jí)泵太小3、高真空漏4、規(guī)管出氣量大5、前幾真空泵工作不正常

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