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Pfeiffer渦輪分子故障的處理辦法有哪些?
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  • 異物進(jìn)入Pfeiffer渦輪分子泵工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進(jìn)入分子泵時(shí),會(huì)對(duì)高速旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成巨大損害,建議立即停機(jī)送修檢測(cè)。

  • Pfeiffer渦輪分子泵真空度正常,可以達(dá)到全速,但是噪音大分子泵運(yùn)行超過(guò)3年,可能內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損;如果放任不管,后續(xù)會(huì)磨損轉(zhuǎn)子,對(duì)泵體內(nèi)部造成更嚴(yán)重的損傷

  • Pfeiffer渦輪分子泵無(wú)法達(dá)到全速,真空度抽不下去請(qǐng)檢查前級(jí)真空是否正常,如果是分子泵組,請(qǐng)先打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥抽一段時(shí)間后在觀察下,無(wú)法解決問(wèn)題建議立即送修檢測(cè)

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