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Edwards真空分子泵的維修注意事項是?大家推薦一下
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  • Edwards真空分子泵每次停機后,必須清洗每個分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

  • 當出現(xiàn)警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現(xiàn)其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。

  • 當Edwards真空分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時,必須根據(jù)故障提示進行處理。

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