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分子泵發(fā)熱有什么解決辦法嗎?求幫忙解答
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  • 分子泵漏氣(包括管路接口),其主要現(xiàn)象表現(xiàn)為電流過(guò)高,且分子泵的轉(zhuǎn)速低于額定轉(zhuǎn)速,真空度不穩(wěn)定;

  • 冷卻水有問(wèn)題,主要現(xiàn)象是溫度高,電流率高,真空度無(wú)影響;軸承問(wèn)題,使用時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或內(nèi)部較臟,需要進(jìn)行保養(yǎng),更換新的軸承;

  • 動(dòng)平衡跑掉,現(xiàn)象是運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程噪音高,泵體發(fā)熱,真空度影響不大,但要注意觀察,容易發(fā)生葉片打碎現(xiàn)象;內(nèi)部較臟,特別是制成物堆積過(guò)多造成運(yùn)轉(zhuǎn)不暢,導(dǎo)致電機(jī)高負(fù)載,運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)熱;

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