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求救,超高真空抽氣系統(tǒng)中的氫分壓突然升高,該怎么辦?
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  • 分子泵使用過程出現(xiàn)超高真空抽氣系統(tǒng)中的氫分壓突然升高現(xiàn)象,原因和解決辦法

  • 原因:1.泵體沒徹*烘烤除氣2.冷卻水溫過高或冷卻系統(tǒng)故障使泵溫升高

  • 排除方法:1.低于150攝氏度長時(shí)間烘烤去氣2.冷卻水溫應(yīng)低于14攝氏度,運(yùn)轉(zhuǎn)中保證冷卻系統(tǒng)正常工作

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