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渦輪分子泵的工作原理??jī)?yōu)缺點(diǎn)有哪些
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  • 渦輪分子泵的抽氣原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個(gè)必要條件:1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。2). 分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。

  • 由于渦輪分子泵在某些方面,要比低溫泵、離子泵和擴(kuò)散泵表現(xiàn)得更******。故在一般情況下,多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點(diǎn)有:(1)清潔,無(wú)油蒸汽返流;(2)使用方便;(3)氣體輸送能力強(qiáng);(4)適于超高真空應(yīng)用;(5)高壓力下性能良好;6)循環(huán)的時(shí)間短;(7)正常使用時(shí)間長(zhǎng)

  • 當(dāng)然,任何真空泵都有不足之處,渦輪分子泵也不例外。它的缺點(diǎn):(1) 設(shè)備費(fèi)用高;(2) 對(duì)顆粒物或沉積物敏感;(3) 噪音與振動(dòng);(4) 破碎問(wèn)題;(5) 暴露大氣易引起事故

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