燒結法:?ITO靶材燒結制作法是在以銦錫氧化物共沉淀粉末或氧化銦和氧錫混合粉末為原料,加入粘結劑和分散劑混合后,貴金屬復合材料加工,壓力成型,脫脂,然后于1400℃---1600℃燒結。燒結法設備投入少,成本低,貴金屬復合材料誰家好,產品密度高、缺氧率低,尺寸大、但制造過程中對粉末的選擇性很強。
ITO靶制備的透明導電薄膜廣泛應用于數(shù)碼相機、投影電視、數(shù)碼顯示的各種光學系統(tǒng)中,需求量都很大。
各種類型的濺射薄膜材料在半導體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。20世紀90年代以來,濺射靶材及濺射技術的同步發(fā)展,極大地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如,在半導體集成電路制造過程中,合肥貴金屬復合材料,以電阻率較低的銅導體薄膜代替鋁膜布線。
在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。
以含有氯原子的表橡膠為代表的橡膠組分,用于導電橡膠輥,以允許導電橡膠輥呈離子導電性。該情況下,含有氯原子的橡膠組分具有較高的表面自由能。因此,含有氯原子的橡膠組分容易粘附于色粉和用于色粉的添加劑上。當含有氯原子的橡膠組分與離子導電的單體聚合時,導電輥具有較高的表面自由能并且容易弄濕。因此粘附于導電橡膠輥的色粉量變得較高。當通過用紫外線照射其表面或者使其暴露于臭氧中,使導電橡膠輥的表面上形成氧化膜時,導電橡膠輥表面的氧濃度變得較高。
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