人類社會的存在,純金靶材,科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和發(fā)展,已成為21世紀(jì)首要的戰(zhàn)略儲備物資,且與各國的政治經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展有著息息相關(guān)的緊密聯(lián)系,在已知的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域中,高純材料、合金、各種深加工的制品(半成品)及化學(xué)制品,已被廣泛應(yīng)用到冶金鋼鐵,石油化工,純金靶材廠家,有機化工,化工,電子電器,汽車制造,光學(xué)玻璃,玻璃纖維。
濺射靶材ITO靶材的生產(chǎn)工藝 ITO靶材的生產(chǎn)工藝可以分為3種:熱等靜壓法(HIP)、濺射靶材熱壓法(HP)和氣氛燒結(jié)法。各種生產(chǎn)工藝及其特點簡介如下:
熱等靜壓法:ITO靶材的熱等靜壓制作過程是將粉末或預(yù)先成形的胚體,在800℃~1400℃及1000kgf/cm 2~2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結(jié)。熱等靜壓工藝制造產(chǎn)品密度高、物理機械性能好,但設(shè)備投入高,純金靶材哪家好,生產(chǎn)成本高,產(chǎn)品的缺氧率高。
背靶的選擇
對材質(zhì)的要求:一般選用無氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右
導(dǎo)電性好:常用無氧銅,無氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好;
強度足夠:太薄,純金靶材加工,易變形,不易真空密封。
結(jié)構(gòu)要求:空心或者實心結(jié)構(gòu);
厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。
銦焊綁定的流程
1.綁定前的靶材和背板表面預(yù)處理
2.將靶材和背板放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度
3.做靶材和背板金屬化
4.粘接靶材和背板
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