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滅菌特種氣體主要應用于（繃帶、縫線及手術器具）、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產品及貯藏方面的殺菌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，特種氣體供應商，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產不 可或缺的原材料。特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。
特種氣體分類：標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻， 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領域的需求，特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導體及其它電子產品生產的氣體，合肥特種氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質量與 發(fā)達國家相比，尚有較大差距；
特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，特種氣體公司，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域；特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；20 世紀 80 年代，電子產 業(yè)的興起推動特種氣體的需求提高，隨著氣體供應商供氣模式的引入，國內 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司，國內特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。
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第9年
