如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光,可稱為第三代激光。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一,激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此,對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。稀有氣體離子激光中,以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外,氬離子激光常以其紫外線及藍(lán)綠光激起染料激光。
如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光,可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮?dú)饣蚬I(yè)氧氣,當(dāng)切割不銹鋼板或是切割鋁板時(shí)一般使用高純氮?dú)庾鳛檩o助氣體,一般壓力要求比較高。目元激光混合氣體的方案組成比例:CO:4%,CO2:8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機(jī)床達(dá)到輸出功率,并且切割鋼板厚度達(dá)到25mm,還可以更好的保證工件質(zhì)量。
Au,Cu,Ba,Sn,蘭州激光混合氣,Pb,激光混合氣廠家,Zn等金屬的蒸汽,激光混合氣公司,都是中性原子激光的自動(dòng)介質(zhì)。它們的蒸汽中,?;烊氲蛪毫Φ亩栊詺怏w,以提高放電效率。激光切割機(jī)用的激光混合氣體,二維激光切割機(jī)床用的四元激光混合氣體,主要用于鋼材的鈑金加工。重要的準(zhǔn)分子激光,以稀有氣體的鹵化物為自動(dòng)介質(zhì),激光混合氣廠家報(bào)價(jià),如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因?yàn)槭芗B(tài)常以星號(hào)(*)上標(biāo)表示,所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準(zhǔn)分子不會(huì)天然出現(xiàn),而是在氣體混合物中放電時(shí)形成的。
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