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分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標(biāo)，首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細(xì)節(jié)問(wèn)題。
通常有關(guān)分辨率的問(wèn)題，都會(huì)遵循瑞利判據(jù)。即一個(gè)光點(diǎn)按照衍射理論會(huì)是一個(gè)衍射斑，兩個(gè)光點(diǎn)逐步靠近時(shí)，對(duì)應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當(dāng)兩個(gè)衍射斑的半高寬重疊，則認(rèn)為不可區(qū)分了。此時(shí)兩個(gè)衍射斑之間的距離即為分辨率，。
但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律，比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ)，但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動(dòng)型的，并不完全適用半高寬重合的概念。
掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗(yàn)收分辨率，和一般測(cè)試過(guò)程中能達(dá)到的分辨率。
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