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還有一種新型的電子場發(fā)射式電子qiang,由1個陰極和2個陽極構(gòu)成,陽極上施加一稍低(相對第2陽極)的吸附電壓,用以將陰極上面的自由電子吸引出來,而第2陽極上面的極高電壓,將自由電子加速到很高的速度發(fā)射出電子束流。這需要超高電壓和超高真空為工作條件,它工作時要求真空度達(dá)到10-7Pa,熱損耗,使用壽命可達(dá)2000 h;電子束斑的光點更為尖細(xì),直徑可達(dá)到10nm以下,較鎢絲陰極(大于10nm)縮小了3個數(shù)量級;由于發(fā)光,它發(fā)出光斑的亮度能達(dá)到10 A/cm·s,較鎢絲陰極(106 A/cm·s )也提高了3個數(shù)量級。場發(fā)射式電子因技術(shù)、造價昂貴,只應(yīng)用于高分辨電鏡當(dāng)中。

樣品室處在聚光鏡之下,內(nèi)有載放樣品的樣品臺。樣品臺必須能做水平面上X、Y方向的移動,以選擇、移動觀察視野,相對應(yīng)地配備了2個操縱桿或者旋轉(zhuǎn)手輪,這是一個精密的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),每一個操縱桿旋轉(zhuǎn)10圈時,樣品臺才能沿著某個方向移動3mm左右?,F(xiàn)代電鏡可配有由計算機(jī)控制的馬達(dá)驅(qū)動的樣品臺,力求樣品在移動時,固定時穩(wěn)定;并能由計算機(jī)對樣品做出標(biāo)簽式定位標(biāo)記,以便使用者在需要做回顧性對照時依靠計算機(jī)定位查找,這是在手動選區(qū)操作中很難實現(xiàn)的。

從試樣表面形貌獲得多方面資料。在掃描電子顯微鏡中,不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來成象,而且可以通過信號處理方法,花粉透射電鏡技術(shù)服務(wù),獲得多種圖象的特殊顯示方法,還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因為掃描電子象不是同時記錄的,它是分解為近百萬個逐次依此記錄構(gòu)成的,因而使得掃描電子顯微鏡除了觀察表面形貌外,還能進(jìn)行成分和元素的分析,以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,選區(qū)尺寸可以從10μm到2μm。

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