TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成
電子:發(fā)射電子,由陰極、柵極、陽極組成。陰極管發(fā)射的電子通過柵極上的小孔形成射線束,經(jīng)陽極電壓加速后射向聚光鏡,起到對電子束加速、加壓的作用。
聚光鏡:將電子束聚集,可用已控制照明強度和孔徑角。
樣品室:放置待觀察的樣品,并裝有傾轉(zhuǎn)臺,用以改變試樣的角度,還有裝配加熱、冷卻等設(shè)備。
物鏡:為放大率很高的短距透鏡,作用是放大電子像。物鏡是決定透射電子顯微鏡分辨能力和成像質(zhì)量的關(guān)鍵。
中間鏡:為可變倍的弱透鏡,作用是對電子像進(jìn)行二次放大。通過調(diào)節(jié)中間鏡的電流,可選擇物體的像或電子衍射圖來進(jìn)行放大。
透射鏡:為高倍的強透鏡,用來放大中間像后在熒光屏上成像。此外還有二級真空泵來對樣品室抽真空、照相裝置用以記錄影像。
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